立式管式爐特點(diǎn)及使用注意事項
立式管式爐的*設計能夠實(shí)現在真空或氣氛保護條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場(chǎng)更均勻,立式結構使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動(dòng)支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預抽真空并能通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長(cháng)、電測試、氧化物晶體生長(cháng)、快速退火等實(shí)驗需要!
設備采用鋼板工制作而成,表面采用靜電噴涂,外形美觀(guān)。工作室為剛玉管,加熱元件根據溫度需要配套(硅碳棒或硅鉬棒),保溫材料采用輕質(zhì)保溫保溫加的硅酸鋁耐火纖維棉,與電爐配套的溫控部分采用PID可調智能儀表控制,可編制多個(gè)程序段,控制產(chǎn)品的燒制過(guò)程,并具有過(guò)流、限流、過(guò)熱等保護功能。
主要應用于院校實(shí)驗室、工礦企業(yè)實(shí)驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
立式管式爐使用必須按照操作規范進(jìn)行的同時(shí),還應注意以下幾點(diǎn):
1、檢查氣路是否暢通或漏氣。先將管路連接無(wú)誤后通氧氣,氧氣進(jìn)入吸收瓶后產(chǎn)生正常氣泡,表明氣路正常,否則說(shuō)明氣路有堵塞或瓷管有斷裂,應處理正常。
2、開(kāi)啟電源,開(kāi)啟控制器,先預置立式高溫管式爐的工作溫度為1250℃,然后調整電壓為60Ⅴ,升溫半小時(shí),然后調整電壓至100Ⅴ,再升溫半小時(shí),后調整電壓至150Ⅴ,升溫至溫度指示在1250℃。如不按照逐漸提高電壓并足夠時(shí)長(cháng)的方式升溫,硅碳棒和瓷管受到急熱作用而容易斷裂,因而須嚴格按本規程操作,以免造成材料浪費。
3、在工作溫度保持在1250℃左右時(shí)即可進(jìn)入樣品分析;分析結束后調整電壓歸為零位,關(guān)閉控制器開(kāi)關(guān),關(guān)閉電源,后關(guān)閉氧氣儀表閥門(mén)和氣瓶總閥。